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El espectrómetro puede sustituir a uno de los lásers de la técnica descrita anteriormente para obtener una de las dos curvas a 633 nm. Esto nos permite, una vez conocido el espesor, obtener el índice de refracción (en el rango 190-850 nm) de películas crecidas en el portamuestras, a temperaturas que pueden ser tan bajas como (10 K). Este resultado es importante en sí mismos porque nos da información sobre la estructura de la película: el valór del índice de refracción está relacionado con la porosidad, la fase (amorfa, cristalina, etc.), densidad.... Ësta técnica es especialmente útil cuando se producen cambios morfológicos debidos a variaciones de temperatura, irradiación, etc., que se desea estudiar.
Para evaluarlos, se controla el depósito con dos técnicas: la interferometría de doble láser y la espectroscopia UV-Vis. La primera nos da dos curvas de interferencia que nos permiten la medida del espesor a través de la determinación del índice de refracción para la longitud de onda de los láseres que se utilicen, en nuestro caso 633 nm del He-Ne. Con este punto experimental podemos ajustar con precisión la curva experimental para cada longitud de onda del espectrómetro UV-Vis, con la teórica obtenida a partir de los coeficientes de Fresnel. |
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Espectrometría UV-Vis |
